低溫等離子廢氣處理設備，低溫等離子體的淨化作（zuò）用還具備顯著的生物效應。發（fā）生的靜電作用在各種細菌、病毒等（děng）微生（shēng）物表麵（miàn）產生的電能剪切力大（dà）於細胞膜表麵張力，使細胞（bāo）膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此（cǐ）低溫（wēn）等離（lí）子體除臭技術具有優（yōu）秀的消毒殺菌之功效。
低溫等離子體技術（shù）是一個集物理學、化學、生物學和環境科（kē）學於一體的交叉綜合性（xìng）技術，該技術顯（xiǎn）著（zhe）特點是對汙染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且（qiě）有能耗低、效率高、無二次汙染等明顯優點。
其淨化作用機理包含兩個方麵：
一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能（néng）足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質（zhì）原子或無害分（fèn）子（zǐ）；
二是等離子體中包含大量的高能、正負離子、激（jī）發態粒子和（hé）具有強氧化性的（de）自由基，這些活性粒子和（hé）部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處於激發態。有機當臭氣分子獲得（dé）的能（néng）量大於其分子（zǐ）鍵能的結合能時，臭氣分子（zǐ）的化學鍵斷裂，直接分解（jiě）成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子（zǐ）。同時產生的大（dà）量·OH、·HO2、·O等活性（xìng）自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體（tǐ）分子發（fā）生化學反應（yīng），最終生成（chéng）無害產物。
低溫等離子（zǐ）體中的高能電子可使電負性高的（de）氣體（tǐ）分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的效應，對人體及其他生物（wù）的生命活動有著十（shí）分重要的影響，被人們譽（yù）為“空氣維生（shēng）素”、“長（zhǎng）壽素”。